Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ф 81 Автор(ы) : Калинин В. А., Пинаев В. В., Макарова А. В., Захаров А. В. Заглавие : Фоторезисты для встречно-штыревых преобразователей систем радиочастотной идентификации на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 30-33: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 33 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фоторезист-- волны поверхностные акустические--преобразователи встречно-штыревые--фотолитография "взрывная" --рчид--пав--вшп Аннотация: Дан обзор и приведена сравнительная характеристика фоторезистов для технологии "взрывной" фотолитографии в целях получения встречно-штыревых преобразователей (ВШП) систем радиочастотной идентификации (РЧИД) на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Выделен фоторезист, удовлетворяющий особенностям изделий на ПАВ. Использование данного метода позволит обеспечить надежный контроль над размерами элементов Доп.точки доступа: Калинин, В. А.; Пинаев, В. В.; Макарова, А. В.; Захаров, А. В.