Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 65 Автор(ы) : Землянников Н. С., Данилова Н. Л., Панков В. В., Суханов В. С., Гаврилов Р. О., Михайлов Ю. А. Заглавие : Конструкция чувствительных элементов на малые давления с повышенной перегрузочной способностью Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 8-10: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 10 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): способность перегрузочная--мембрана сложнопрофилированная кремниевая --элементы давления чувствительные--преобразователи давления --способность перегрузочная Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления со сложнопрофилированной кремниевой мембраной, изготовленных по микроэлектронной технологии. Показаны конструктивные решения, использованные в чувствительных элементах избыточного давления для обеспечения повышенной перегрузочной способности Доп.точки доступа: Землянников, Н. С.; Данилова, Н. Л.; Панков, В. В.; Суханов, В. С.; Гаврилов, Р. О.; Михайлов, Ю. А.