Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 623/Э 46 Автор(ы) : Кузнецов, Геннадий Дмитриевич, Кушхов, Аскер Русланович, Сергиенко, Андрей Алексеевич, Харламов, Николай Александрович Заглавие : Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие Выходные данные : М.: МИСИС, 2012 Колич.характеристики :127 с Коллективы : Нац. исслед. технологический ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники Примечания : Авт. указ. на обороте тит. л. ISBN, Цена 978-5-87623-556-5: 430.32 р. ГРНТИ : 81.09 ББК : 623.7я73 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Кузнецов, Геннадий Дмитриевич; Кушхов, Аскер Русланович; Сергиенко, Андрей Алексеевич; Харламов, Николай Александрович; Нац. исслед. технологический ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники