Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Э 45 Автор(ы) : Платонов В. В., Генералов С. С., Смехова В. И., Амеличев В. В., Поломошнов С. А. Заглавие : Электростатический МЭМС-ключ на структуре кремний—стекло Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 43-47: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): имэмс-переключатели--мэмс-ключ электростатический --структура кремний—стекло--напряжение рабочее Аннотация: Рассмотрены основные преимущества МЭМС-переключателей. Приведены результаты реализации конструкции кремний—стекло с балочным креплением подвижных электродов, не имеющей в технологии изготовления операцию удаления жертвенного слоя. Представлены основные результаты исследования разработанных МЭМС-ключей Доп.точки доступа: Платонов, В. В.; Генералов, С. С.; Смехова, В. И.; Амеличев, В. В.; Поломошнов, С. А.