Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 72 Автор(ы) : Спирин В. Г. Заглавие : Проблемы создания микросборок высокой плотности упаковки Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 8. - С. 17-20. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 20 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросборка--плотность упаковки--мсб--технология мсб Аннотация: Рассмотрены основные виды проблем, которые препятствуют созданию тонкопленочных микросборок высокой плотности упаковки. Предложены пути решения этих проблем. Даны рекомендации по совершенствованию технологического процесса и оборудования