Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/А 19 Автор(ы) : Аверин И. А., Мошников В. А., Пронин И. А. Заглавие : Анализ влияния направленного легирования газочувствительного диоксида олова на формы и концентрацию адсорбированного кислорода Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 8. - С. 31-34: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 34 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газочувствительность --кислород адсорбированный-- материалы полупроводниковые--диоксид олова --сенсор газовый--сила льюисовская Аннотация: Проведен анализ температурной зависимости концентраций и форм кислорода на нелегированном и легированном полупроводниковом диоксиде олова. Выяснено, что основными формами кислорода при температурах функционирования большинства газовых сенсоров являются О - и О 2-. При легировании материнского оксида ионами, чья льюисовская сила больше, происходит рост концентраций всех форм поверхностного кислорода. Однако во всех случаях основной вклад в газочувствительность полупроводниковых материалов вносит их дефектность Доп.точки доступа: Мошников, В. А.; Пронин, И. А.