Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 73 Автор(ы) : Богданов С. А. Заглавие : Моделирование газовой чувствительности кондуктометрических сенсоров на основе неоднородных полупроводников Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 2-7: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 7 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводники неоднородные--полупроводники--чувствительность газовая--сенсоры газа кондуктометрические Аннотация: Разработана методика прогнозирования газовой чувствительности кондуктометрических сенсоров газов с чувствительным слоем на основе поликристаллического полупроводника, учитывающая размеры кристаллических зерен материала чувствительного слоя. Полученные результаты могут быть использованы для оптимизации технологических режимов формирования рассматриваемых сенсоров, а также для прогнозирования их газовой чувствительности