Вид документа : Шифр издания : 620.3/М 59 Автор(ы) : Васильев А. Л., Роддатис В. В., Пресняков М. Ю., Орехов А. С., Лопатин С., Бондаренко В. И., Ковальчук М. В. Заглавие : Микроструктура границ раздела в гетеросистемах Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 37-46: рис. Примечания : Библиогр.: с. 46 (30 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гетеросистемы--микроскопия растровая электронная --микроанализ энергодисперсионный рентгеновский --механизмовформирования слоев--гетероструктура Аннотация: Представлены результаты исследований структуры границ раздела и тонких пленок в гетероструктурах с использованием просвечивающей и просвечивающей растровой электронной микроскопии с коррекцией сферической аберрации и сверхчувствительного энергодисперсионного рентгеновского микроанализа. На примерах гетероструктур различных материалов (Si/Ge, InGaAs/InAs, AlN/GaN, YBCO на различных подложках и LuFe(Co)O3/YSZ) показана возможность определения морфологии и атомной структуры границ раздела, механизмовформирования слоев Доп.точки доступа: Васильев, А. Л.; Роддатис, В. В.; Пресняков, М. Ю.; Орехов, А. С.; Лопатин, С.; Бондаренко, В. И.; Ковальчук, М. В.