Вид документа : Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Гоголинский К. В., Губский К. Л., Кузнецов А. П., Решетов В. Н. Заглавие : Исследование источников случайных погрешностей в измерительном сканирующем зондовом микроскопе «НаноСкан-3Di» Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 56-59: рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 59 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диапазон нанометровый --микроскоп сканирующий зондовый --микроскоп «наноскан-3di»--погрешности-- интерферометр трехкоординатный гетеродинный лазерный--воспроизводимость Аннотация: Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне Доп.точки доступа: Гоголинский, К. В.; Губский, К. Л.; Кузнецов, А. П.; Решетов, В. Н.