Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ф 79 Автор(ы) : Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Дзбановский Н. Н., Пащенко П. В., Тимофеев М. А. Заглавие : Формирование наноструктурированных пленок и слоистых структур иридия и поликластерного алмаза Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 16-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 30 (27 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): алмазные пленки--пленки--пленки иридия Доп.точки доступа: Белянин, А. Ф.; Самойлович, М. И.; Дзбановский , Н. Н.; Пащенко, П. В.; Тимофеев , М. А.