Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 34 Автор(ы) : Теплова Т. Б. Заглавие : Исследование возможности обработки хрупких твердых кристаллических материалов электронной техники в режиме квазипластичности для совершенствования качества обрабатываемой поверхности Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 45-47. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 47 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): квазипластические свойства--кристаллические материалы