Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 51.007.57/К 27 Автор(ы) : Карташев В. А., Карташев В. В. Заглавие : Учет геометрии острия иглы для коррекции измерений туннельного микроскопа Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 2-4. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 4 (6 назв.) УДК : 51.007.57 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): зондовая микроскопия--туннельный микроскоп--интерпретация измерений стм--форма острия иглы Аннотация: Ошибки измерений нанорельефа поверхности туннельным микроскопом обусловлены особенностями работы пьезоприводов и системы управления движением зонда. В результате на изображении измеренной поверхности возможно появление объектов, которые в реальности отсутствуют. Учет геометрии острия иглы при интерпретации измерений позволяет существенно уменьшить вклад указанных ошибок. Рассмотрено действие этого фильтра на примере искажений, возникающих при сканировании элементов рельефа с большими изменениями наклона поверхности Доп.точки доступа: Карташев, В. В.