Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539.2/Б 49 Автор(ы) : Берлин, Евгений Владимирович, Сейдман, Лев Александрович Заглавие : Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : научное издание Выходные данные : М.: Техносфера, 2013 Колич.характеристики :255 с., [2] вкл. л.: ил. Серия: Мир материалов и технологий Примечания : Библиогр.: с. 242-255 ISBN, Цена 978-5-94836-369-1: 568.70 р. ГРНТИ : 29.19 ББК : 539.212.6 Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА-- КРИСТАЛЛОГРАФИЯ Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович