Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 531.76/В 14 Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Гринькин Е. А., Турков В. Е., Резниченко Г. М., Рискин Д. Д., Бычкова Ю. А. Заглавие : Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2*. формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 3-11. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 11 (21 назв.) УДК : 531.76 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсорные мэмс--чувствительные элементы--корпусирование на уровне пластин--тонкослойное капсулирование--электрические выводы--контакты--межсоединения--соединительные слои--газопоглотители--мембранные сенсоры--сенсоры пирани--балочные резонаторы Аннотация: Часть 2 обзора посвящена методам и проблемам формирования вакуумплотных электрических выводов к контактным площадкам, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях МЭМС, а также общим тенденциям развития технологии корпусирования сенсорных МЭМС, направленным на уменьшение размеров корпусов за счет использования новых материалов и процессов для соединения пластин, а также на компьютеризацию моделирования, проектирования, производства, испытания и оценки надежности и жизнеспособности С МЭМС в единой системе обеспечения их жизненного цикла Доп.точки доступа: Бабаевский , П. Г.; Жукова, С. А.; Обижаев, Д. Ю.; Гринькин, Е. А.; Турков, В. Е.; Резниченко, Г. М.; Рискин, Д. Д.; Бычкова, Ю. А.