Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.383.8/С 58 Автор(ы) : Заярский Д. А., Невешкин А. А., Байбурин В. Б., Слаповская Ю. П. Заглавие : Создание многослойных структур на основе ALQ 3 и исследование их свойств Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 30-33. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 33 (4 назв.) УДК : 621.383.8 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полимерные покрытия--три-8-оксихиналин алюминия--мдм-структура Аннотация: Приведена методика формирования тонкопленочных полимерных покрытий на основе три-8-оксихиналин алюминия (Alq 3) и параметры оптимального режима нанесения, при котором толщина покрытий находится в пределах 100 нм. Создана многослойная тонкопленочная МДМ-структура на основе Alq 3 и исследованы ее электрофизические свойства Доп.точки доступа: Заярский, Д. А.; Невешкин, А. А.; Байбурин, В. Б.; Слаповская, Ю. П.