Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.586.4/И 73 Автор(ы) : Годовицын И. В., Генералов С. С., Поломошников С. А., Сывороткин П. А., Амеличе В. В. Заглавие : Интегральный конденсаторный преобразователь акустического давления для миниатюрного мэмс-микрофона Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 43-50. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 50 (18 назв.) УДК : 621.586.4 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс-микрофон--преобразователь акустического давления--микросистемная технология Аннотация: Статья посвящена разработке конструкции конденсаторного преобразователя акустического сигнала для МЭМС-микрофона. Структура преобразователя включает подвижную, чувствительную к акустическому давлению мембрану и неподвижную сигнальную пластину, сформированные из слоев осажденного поликремния. Особенное внимание уделено снижению механических напряжений в мембране и сигнальной пластине. Полость в кремниевой подложке, выполняющая функцию источника опорного давления, сформирована с использованием жидкостного анизотропного травления. Изготовлены экспериментальные образцы преобразователя и проведена оценка чувствительности, которая составила 4,5...5,0 мВ/Па, что соответствует значению -46 дБ, рассчитанному относительно чувствительности 1 В/Па. Проведена запись звука с помощью стандартной программы звукозаписи, входящей в комплект Windows. Субъективная оценка записи позволяет сказать, что преобразователь обладает высоким качеством передачи звука Доп.точки доступа: Годовицын, И. В.; Генералов, С. С.; Поломошников, С. А.; Сывороткин, П. А.; Амеличе, В. В.