Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.38/Т 98 Автор(ы) : Тютюгин А. В., Жукова С. А., Турков В. Е. Заглавие : Формирование проводящих микровыводов методом жидкостной химической обработки для сборки кристаллов методом "флип-чип" Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 26-31: рис., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 31 (15 назв.) УДК : 621.38 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): бамп--химическое никелирование-- "флип-чип" Аннотация: Технологию "флип-чип" все более широко применяют в качестве метода соединения кристалла с подложкой. Однако для ускорения производства существует необходимость группового метода формирования проводящих межсоединений (бампов). Данное требование можно обеспечить благодаря применению методов химической обработки. Рассмотрены основные технологические особенности формирования соединений методом химического никелирования иммерсионного золочения на всех стадиях технологического процесса, а также проведено исследование влияния параметров раствора на морфологию поверхности образующихся межсоединений Доп.точки доступа: Жукова, С. А.; Турков, В. Е.