Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382/А 13 Автор(ы) : Абдуллаев Д. А. Заглавие : Изменение набора применяемых материалов при уменьшении топологических норм производства интегральных микросхем Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 32-38: рис., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 37 (23 назв.) УДК : 621.382 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральная микросхема (имс)--топологические нормы--медные межсоединения--low-k диэлектрики--high-k диэлектрики--алюминиевые межсоединения Аннотация: Описывается, как изменяется набор используемых материалов в производстве интегральных микросхем при переходе от топологических норм 180 нм к топологических нормам 32 и 22 нм