Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 53.06/Э 45 Автор(ы) : Зубов Д. Н., Кельм Е. А., Милованов Р. А., Молодцова Г. В. Заглавие : Электрохимическое восстановаение поврежденных контактных площадок кристаллов при анализе отказов современных интегральных схем Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 38-40: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 40 (5 назв.) УДК : 53.06 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): анализ отказов--интегральная схема--контактная площадка-- электрохимическое осаждение--термокомпрессионная сварка Аннотация: При анализе отказов современных интегральных схем, может возникнуть необходимость в проведении исследований, включающих одновременный анализ топологии кристалла и подачу электрических сигналов на его контактные площадки. Однако при осуществлении доступа к кристаллу контактные площадки могут быть повреждены по различным причинам. Рассмотрены несколько типов повреждений контактных площадок, а также экспериментальные исследования по их восстановлению электрохимическим осаждением серебра и меди Доп.точки доступа: Зубов, Д. Н.; Кельм, Е. А.; Милованов, Р. А.; Молодцова, Г. В.