Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 681.5.08/Ч-67 Автор(ы) : Гридчин В. А., Васильев В. Ю., Чебанов М. А., Бялик А. Д., Чернов А. С. Заглавие : Численное моделирование элементов фотоэлектрического волоконно-оптического сенсора давления Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 3-7: граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 7 (13 назв.) УДК : 681.5.08 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптоволокно--фотоэлектрический сенсор давления--метод конечных элементов Аннотация: Представлена численная модель оптомеханического узла фотоэлектрического сенсора давления, состоящего из профилированной кремниевой диафрагмы с жестким центром и оптоволокна. Методом конечно-элементного моделирования исследованы условия максимальной чувствительности по смещению свободного конца оптоволокна под действием давления в зависимости от размеров диафрагмы. Показано, что для достижения максимальной чувствительности по перемещению оптоволокна расположение жесткого центра может быть нецентральным и зависит от размеров диафрагмы. Рассмотрены особенности преобразовательной характеристики при использовании в составе фотоэлектрического сенсора давления одного либо двух фотодиодов в дифференциальном включении Доп.точки доступа: Гридчин, В. А.; Васильев, В. Ю.; Чебанов, М. А.; Бялик, А. Д.; Чернов, А. С.