Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77/С 34 Автор(ы) : Сивченко А. С., Кузнецов Е. В. Заглавие : Методики анализа основных характеристик надежности в КМОП ИС с помощью тестовых структур в составе пластин Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 7-9: граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 9 (6 назв.) УДК : 621.3.049.77 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): надежность--дефектность--отказ--металлизация ис--горячие носители Аннотация: Представлены методики, позволяющие с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин определять время наработки до отказа линии металлизации и деградацию параметров МОП-транзисторов под действием горячих носителей. Также в работе представлена методика, позволяющая определять дефектность подзатворного диэлектрика Доп.точки доступа: Кузнецов, Е. В.