Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.9.047.7/Г 16 Автор(ы) : Галперин В. А., Разживин Н. А. Заглавие : Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 12-15: табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 15 (8 назв.) УДК : 621.9.047.7 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): реактивно-ионное травление--плазма--профиль травления--тримминг резиста Аннотация: Приведены результаты исследования процесса тримминга маски, протекающих механизмов реакций и совместимости с процессом травления поликремния. Получены зависимости и оптимальные значения основных технологических параметров стадий, определяющих качество процесса. Проведена оценка влияния параметров и реагентов стадии тримминга на получаемый линейный размер формируемых элементов поликремния, равномерность и минимизацию эффекта микрозагрузки. Сформирован комплекс мер по оптимизации и стабилизации процесса и получению профиля травления с требуемым размером формируемых элементов в условиях опытного производства Доп.точки доступа: Разживин, Н. А.