Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77/Т 38 Автор(ы) : Чуйко О. В., Кузнецов Е. В., Савельев М. И., Комарова Н. В., Сироткина М. С. Заглавие : Технология формирования интегральной микрофлюидной КМОП-системы с нанопроволочными чувствительными элементами Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 23-25. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 25 (4 назв.) УДК : 621.3.049.77 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионно-чувствительный полевой транзистор--кремниевые наноструктуры--микрофлюидная система--система "lab on chip"--корпусирование--герметизация Аннотация: Представлен технологический маршрут изготовления микросистемы, объединяющей в себе интегральное изготовление нанопроволочного ISFET-биосенсора, совмещенного с КМОП-технологией, и микрофлюидной системы на этапе корпусирования и герметизации ИС Доп.точки доступа: Чуйко, О. В.; Кузнецов, Е. В.; Савельев, М. И.; Комарова, Н. В.; Сироткина, М. С.