Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.316.543.1/Р 24 Автор(ы) : Мальцев П. П., Майтама М. В., Павлов А. Ю., Щаврук Н. В. Заглавие : Расчет и изготовление узкополосного СВЧ микроэлектромеханического переключателя для частотного диапазона 10...12 ГГц на подложках арсенида галлия Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 30-33. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 33 (7 назв.) УДК : 621.316.543.1 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы (мэмс)--свч переключатель--расчет мэмс-переключателя--арсенид галлия Аннотация: Рассмотрены вопросы проектирования и изготовления дискретных электростатических СВЧ переключателей на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) на пластинах арсенида галлия и оценки возможности интегрирования их в общую схему с монолитными интегральными схемами (МИС) приемо-передающих устройств, изготовленных в едином производственном цикле Доп.точки доступа: Мальцев, П. П.; Майтама, М. В.; Павлов, А. Ю.; Щаврук, Н. В.