Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 681.586.35/М 73 Автор(ы) : Гусев Д. В., Данилова Н. Л., Землянников Н. С., Суханов В. С. Заглавие : Многоканальные тензорезистивные преобразователи давления Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 52-54: табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 54 (3 назв.) УДК : 681.586.35 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензорезистивный преобразователь давления--многоканальный сканер давления Аннотация: В основе многих современных средств измерений использованы устройства на основе МЭМС, изготовленные по различным технологиям. В данной работе рассмотрена конструкция многоканального сканера давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. Предложенное устройство основано на кремниевых тензорезистивных преобразователях давления Доп.точки доступа: Гусев, Д. В.; Данилова, Н. Л.; Землянников, Н. С.; Суханов, В. С.