Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382-027.31/О-75 Автор(ы) : Тимошенков С. П., Анчутин С. А., Рубчиц В. Г., Зарянкин Н. М., Виноградов А. И., Дернов И. С., Кочурина Е. С. Заглавие : Особенности проектирования и изготовления чувствительного элемента микромеханического акселерометра на кни-структурах Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 10-14: рис., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 13 (7 назв.) УДК : 621.382-027.31 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): чувствительный элемент--кпп-структуры--микромеханический акселерометр--модальный анализ--статический анализ--технология изготовления--номинальные емкости Аннотация: Рассмотрены особенности конструкции чувствительного элемента (ЧЭ) микромеханического акселерометра на КПП-структурах, представлены результаты расчета конструкции: проведен модельный, статический анализ, а также расчет номинальных значений емкостей ЧЭ. Изложены особенности технологии изготовления ЧЭ. Приведены результаты исследования опытных образцов чувствительного элемента микромеханического акселерометра Доп.точки доступа: Тимошенков, С. П.; Анчутин, С. А.; Рубчиц, В. Г.; Зарянкин, Н. М.; Виноградов, А. И.; Дернов, И. С.; Кочурина, Е. С.