Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77/П 44 Автор(ы) : Молодцова Г. В., Милованов Р. А., Зубов Д. Н., Кельм Е. А. Заглавие : Подходы к разделению кристаллов стековых сборок при анализе отказов многокристальных интегральных схем Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 22-24: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 24 (6 назв.) УДК : 621.3.049.77 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): анализ отказов--3d package-- многокристальные интегральные схемы (ис)--разделение кристаллов Аннотация: При анализе отказов современных многокристальных ИС типа 3D package, возникает необходимость обеспечения доступа к каждому кристаллу стековой сборки. В работе рассмотрены подходы к разделению кристаллов на основе длительного воздействия дымящей азотной кислоты и циклического изменения температуры образца. Проведенные для flash-накопителя 32 Гбайт экспериментальные исследования показали возможность применения указанных подходов для получения доступа к каждому кристаллу стековой сборки Доп.точки доступа: Молодцова, Г. В.; Милованов, Р. А.; Зубов, Д. Н.; Кельм, Е. А.