Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Артемова А. И., Михайлов Ю. А., Панков В. В., Суханов В. С. Заглавие : Оптимизация конструкции чувствительного элемента давления с распределенным жестким центром с помощью компьютерного трехмерного моделирования Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 34-37: граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 37 (4 назв.) УДК : 004.942:681.586.35 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс преобразователь--чувствительный элемент (чэ)--тензорезисторы--жесткий центр--конечно-элементный анализ Аннотация: Представлен метод оптимизации конструкции кремниевого чувствительного элемента (ЧЭ) давления с распределенным жестким центром. С помощью компьютерного трехмерного моделирования были созданы несколько конструкций ЧЭ с различными вариантами исполнения жесткого центра. С помощью программного комплекса ANSYS было проведено моделирование конструкций ЧЭ при разных приложенных давлениях методом конечных элементов. Полученные выходные значения чувствительности и нелинейности характеристики позволяют сравнить конструкции ЧЭ и выбрать наиболее оптимальный вариант исполнения изделия Доп.точки доступа: Артемова, А. И.; Михайлов, Ю. А.; Панков, В. В.; Суханов, В. С.