Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 537.9/Б 44 Автор(ы) : Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Борисов В. В. Заглавие : Влияние термообработки углеродных пленок на характеристики автоэмиссионных катодов на их основе Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 20-27: рис., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 27 (19 назв.) УДК : 537.9 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): углеродные пленки--автоэмиссионные катоды--спектроскопия комбинационного рассеяния света Аннотация: Рассмотрены особенности формирования углеродных пленок методом тлеющего разряда. Изучены состав и строение углеродных пленок с использованием электронной микроскопии, спектроскопии ИК и комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрии. Изучено влияние термообработки на строение углеродных пленок и вольт-амперные характеристики автоэмиссионных катодов на их основе Доп.точки доступа: Самойлович, М. И.; Борисов, В. В.