Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/М 73 Автор(ы) : Рембеза С. И., Кошелева Н. Н., Рембеза Е. С., Свистова Т. В., Плотникова Е. Ю., Агапов Б. Л., Гречкина М. В. Заглавие : Многокомпонентные наноструктурированные пленки (SnO2) x (ZnO)1 - x (x = 0,5...1) для газовой сенсорики и прозрачной электроники Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 32-36: табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 36 (10 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): многокомпонентные пленки--элементный состав--морфология поверхности--прозрачность--электросопротивление--газовая чувствительность Аннотация: Тонкие пленки (SnO 2) x(ZnO) 1 - х, х = 0,5...1, были получены ионно-лучевым распылением на переменном токе керамических мишеней из чистых порошков SnO 2 (99,97) и ZnO (99,97). Изготовлены пленки SnO 2 с содержанием примеси Zn от 0,2 до 14 % ат. После отжига изучена морфология поверхности пленок, оценен размер зерна поликристаллов, измерена прозрачность и определена ширина запрещенной зоны в зависимости от состава пленок. Определены электрические параметры и состав пленок, пригодных для применения в газовой сенсорике и прозрачной электронике. Доп.точки доступа: Рембеза, С. И.; Кошелева, Н. Н.; Рембеза, Е. С.; Свистова, Т. В.; Плотникова, Е. Ю.; Агапов, Б. Л.; Гречкина, М. В.