Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 16 Автор(ы) : Панфилов Ю. В. Заглавие : Практические результаты использования наноструктурированных материалов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 13-18: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 18 (1 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки--углеродные наноструктуры