Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 99 Автор(ы) : Тягунов О. А. Заглавие : Программный комплекс для моделирования и исследования динамических характеристик микро-и наномеханических элементов и систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 19-25: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 25 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наномеханические элементы--микроэлектроника