Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 76 Автор(ы) : Александров П. А., Демаков К. Д., Шемардов С. Г., Кузнецов Ю. Ю. Заглавие : Применение имплантации ионов кислорода и процесса твердофазной рекристаллизации для улучшения кристаллической структуры кремния на сапфире Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 54-56: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 56 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): твердофазная рекристаллизация--имплантация ионов--кислород--кремний--сапфир Доп.точки доступа: Александров, П. А.; Демаков, К. Д.; Шемардов, С. Г.; Кузнецов, Ю. Ю.