Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Г 63 Автор(ы) : Гольцова М. М., Юдинцев В. А. Заглавие : МЭМС: большие рынки малых устрйств Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы--мэмс--мэмс-устройства Доп.точки доступа: Юдинцев, В. А.