Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 91 Автор(ы) : Мустафаев Ар. Г., Мустафаев Аб. Г. Заглавие : Проблемы масштабирования затворного диэлектрика для моп-технологии Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 17-22: граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (31 назв) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): масштабирование--моп-транзисторы--затвор Доп.точки доступа: Мустафаев, Аб. Г.