Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Л 65 Автор(ы) : Лихошерст В. В., Распоров В. Я. Заглавие : Контур жесткой обратной связи в микромеханических приборах и расчет его параметров Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 30-34: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 34 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микромеханические приборы--обратная связь Доп.точки доступа: Распоров, В. Я.