Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-42 Автор(ы) : Одиноков В., Павлов Г. Заглавие : Специализированное оборудование для исследования и реализации новых технологий Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 3. - С. 14-18: рис., табл., фото. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электропечь--вакуумная установка Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) основан в 1962 году. Входит в бизнес направление "Микроэлектронные решения" ОАО "СИТРОНИКС". Предприятие специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD), а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и восстановления, газофазного осаждения, отжига, в том числе быстрого термического Доп.точки доступа: Павлов, Г.