Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 25 Автор(ы) : Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Кривченко В. А., Пащенко П. В., Суетин Н. В., Тимофеев М. А. Заглавие : Наноструктурированные пленки ZnO в зеркалах и датчиках УФ излучения Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 9-14: рис., табл., фото. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 14 (9 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки zno--магнетронное распыление--устройства микроэлектроники и оптики Аннотация: Рассмотрены условия получения пленок ZnO методом магнетронного ВЧ распыления с применением дополнительной магнитной системы, помещенной за подложкодержателем. Изучено влияние строения пленок ZnO на эксплуатационные характеристики чувствительных элементов датчиков УФ излучения и зеркал УФ диапазона Доп.точки доступа: Белянин, А. Ф.; Самойлович, М. И.; Кривченко, В. А.; Пащенко, П. В.; Суетин, Н. В.; Тимофеев, М. А.