Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 92 Автор(ы) : Белоус А. И., Емельянов В. А., Дрозд С. Е., Коннов Е. В., Мухуров Н. И., Плебанович В. А. Заглавие : Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 19 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дифференциальный конденсатор--мэмс-технология--технология интегральных сил Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента Доп.точки доступа: Белоус, А. И.; Емельянов, В. А.; Дрозд, С. Е.; Коннов, Е. В.; Мухуров, Н. И.; Плебанович, В. А.