Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-42 Автор(ы) : Одиноков В., Павлов Г. Заглавие : Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок "МАГНА ТМ -200-01" Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 4. - С. 10-12: рис., табл. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 Примечания : Библиогр.: с. 12 (2 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): распылительные устройства--датчики давления Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Приоритетным напрвлением деятельности являются разработки оборудования для реализации новых технологических процессов, применяемых в наноэлектронике, микромеханике, при синтезе наноматериалов Доп.точки доступа: Павлов, Г.