Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/А 84 Автор(ы) : Арнольд Крейг Заглавие : Создана высокоточная литографическая установка Место публикации : Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 94: фото. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): университет принстона