Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Д 69 Автор(ы) : Дорошевич В. К. Заглавие : Методы статистического контроля процесса изготовления микросхем и порядок их применения Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 13-14. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 14 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технологический процесс--статистический процесс--микросхема