Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 34 Автор(ы) : Теплова Т. Б. Заглавие : Физико-технологические принципы получения нанометрового рельефа поверхности при обработке твердых хрупких материалов электронной техники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 33-37: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 37 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанометровый рельеф--твердые хрупкие материалы--поверхность--шлифование