Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Заглавие : Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 44 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): термостойкость--мэмс-структуры--тонкопленочные датчики Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.