Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 33 Автор(ы) : Матвеев В. В., Распопов В. Я. Заглавие : Выбор ориентации топологии микрогироскопа на пластине монокристаллического кремния Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 44-47: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 47 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микромеханический гироскоп--анизотропия механических свойств Доп.точки доступа: Распопов , В. Я.