Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 25 Автор(ы) : Раткин Л. С. Заглавие : Наноиндустрия - вакуумной технике Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 52-53. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноиндустрия--криогеника--вакуумная техника