Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 620.3/С 56 Автор(ы) : Яшин К. Д. , Осипович В. С. , Божко Т. Г., Логин В. М. Заглавие : Современные разработки МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64: рис. УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): разработки мэмс--analog devices--ansys--группа evg--intelligent micro pattering--mem research--mems engineering and material--planar--vaisala Доп.точки доступа: Яшин, К. Д. ; Осипович, В. С. ; Божко, Т. Г.; Логин, В. М.