Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Козлова Ю.А. Заглавие : Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 36 (2 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные емкостные мэмс-структуры--температура--виброускорения--выводной проводник--контактная площадка--электрод--измерение температур электродов Доп.точки доступа: Белозубова, Н.Е.; Козлова , Ю.А.