Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Е 92 Автор(ы) : Ефремов Г.И., Мухуров Н.И. Заглавие : Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 44 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--трехэлектродная система--микроактюатор Доп.точки доступа: Мухуров, Н.И.