Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Заглавие : Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 47 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные емкостные мэмс-структуры с возможностью измерения температур электродов Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.